Конфигурации ZEISS SIGMA
- SIGMA 300
- SIGMA 500
Обладает лучшими в своем классе возможностями для проведения энергодисперсионной спектрометроскопии (EDS) для быстрого и точного определения элементного состава исследуемых образцов. - SIGMA VP
Позволяет работать в низком вакууме и исследовать образцы при давлении в камере до 133 Па. Используется для работы с грязными, плохо проводящими, газящими и биологическими образцами, а также в статистике отказов деталей и узлов.
| Катод | Катод Шотки с термополевой эмиссией |
| Разрешение | Sigma 300: 1.2 нм/ @ 15кВ; 2.2 нм/ @ 1кВ // Sigma 500 0.8 нм/ @ 15кВ; 1.6 нм/ @ 1кВ |
| Ускоряющее напряжение | 0.2 – 30 кВ |
| Увеличение | 1 000 000 х |
| Детекторы | In-lens SE-внутрилинзовый детектор вторичных электронов // INLENS-DUO – сдвоенный внутрилинзовый детектор вторичных и обратноотраженных электронов // BSD – детектор обратнорассеяных электронов // ETSE – детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли // VPSE – детектор вторичных электронов для VP режима // CL – катодолюминесцентный детектор // SCD — измеритель тока через образец // STEM – детектор проходящих электронов (просвечивающий режим) |
| Столик | 5-осевой компуцентрический столик |
| Оси | 125 мм х 125 мм х 50 мм (X, Y, Z) // -10 – +90 градусов (ось T, наклон) // 360 градусов без ограничителя (ось R, вращение) |
| Режим | Режим высокого вакуума, режим переменного давления |
Микроскопы ZEISS SIGMA оснащены колонной GEMINI с интегрированным в линзу электронным детектором вторичных электронов. Благодаря этому оператор получает непревзойденное разрешение, яркость и контрастность изображения образцов при высоком уровне топографии.
Большой объем памяти в сочетании с высокоскоростным сканированием пучком электронов позволяет осуществлять быстрое получение карты распределения элементов по поверхности с высоким разрешением. Камера для образцов допускает параллельное использование двух детекторов ЭДС, которые монтируются на противоположных друг от друга стенках для достижения максимального пространственного угла. Для чувствительных к пучкам электронов образцов при применении системы из двух ЭДС возможна работа при малых зондовых токах с сохранением высокой скорости счета рентгеновских квантов.
Микроскопы ZEISS SIGMA легко справляются с получением изображений при низких ускоряющих напряжениях, а также при работе с непроводящими образцами без предварительной пробоподготовки. Это особенно важно при работе с крупногабаритными деталями, в полупроводниковой промышленности и для центров коллективного пользования. Для нужд атомной промышленности возможно защищенное исполнение микроскопов, удаленная работа оператора, а также применение специальных боксов для перегрузки образцов.
Области применения
Аэрокосмическая и автомобильная промышленность
Рутинный анализ для обеспечения требований качества и долговечности изготовленных компонент
Изображения и анализ структуры металлов, трещин
Исследования неметаллических включений в стали, изломов, границ зерен, дислокаций и дефектов упаковки
Анализ отказов, исследования коррозии металлов
Идентификация фаз
Анализ термостойкости и характеристик покрытий и композитных материалов
Анализ композитных материалов, покрытий и текстиля
Производственная чистота
Проверка чистоты производимых компонентов. Автоматический анализ частиц и определение морфологии и химического анализа для соответствия стандарту ISO 16232 Metals & Steels.
Атомная промышленность
Исследования радиоактивных материалов
Анализ отказов.
Наука о материалах
Изображения высокого разрешения и анализ инновационных наноматериалов
Анализ покрытий и тонких пленок
Изображения конструкционных наноматериалов
Анализ наноструктурированных керамик
Анализ нанопорошков и суспензий
Анализ кристаллографической огранки зёрен, степени их совершенства
Наличия фрагментированных кристаллов, разделённых на домены, что является следствием фазовых превращений в кристаллах
Наличия субмикроскопических двойников и ламелей распада твёрдых растворов
Исследования наночастиц, нанотрубок, структуры ядра-оболочек
Исследования гетероструктуры и поверхности тонких пленок
Цеолиты, каталитические материалы
Композиты и полимеры
Наука о жизни
Изображения высокого разрешения и высокопроизводительный анализ биологических образцов с крио-фиксацией
Получение изображений высокочувствительных к электронному пучку биоорганизмов
Исследования влажных образцов без артефактов дегидратации, а также процессов увлажнения и переувлажнения
Получение изображений грибков и бактерий в их естестественном состоянии
Получение изображений контрастирорванных вирусов и частиц бактериофагов
Получение 3D изображений больших объемов биоматериалов с помощью последовательного получения ультратонких срезов в камере микроскопа.
Криминалистика
Сбор и анализ доказательств с мест преступлений, в том числе анализ следов огнестрельных выстрелов (GSR), анализ краски и стекла, банкнот и монет, сравнение волос и волокон
Судебная токсикология, палинология
Доказательства сексуального насилия и анализ ДНК.
Исследования сырья
Быстрый, точный минералогический анализ образцов породы
Анализ железосодержащих и алюминиевых сплавов, в том числе высококристаллической ферритмартенситной стали, сильнолегированной высокопрочной стали для сварки, литого чугуна в отливке и аустенированных и высокопрочных алюминиевых сплавов
Качественная диагностика и определение химического состава металлических порошков, сплавов и соединения
Исследования размеров и формы зёрен, слагающих тонкодисперсные руды и минералы
Выявления микро-трещин и систем микродислокаций в деформированных породах и минералах
Обнаружения треков – следов повреждений, образовавшихся в процессе радиоактивного распада при движении заряженных элементарных частиц в минералах (по длине и плотности треков можно оценивать возраст минералов.
Медицина
Исследования структуры и покрытия стентов и хирургических проволочек
Полупроводниковая электроника
Обеспечение и контроль качества полупроводников и электроники с субнанометровым разрешением, в том числе внутренней структуры полевых транзисторов, полученных по технологии 22 нм, транзисторов с баллистическим транспортом, лазеров на основе A3B5, приборов спинтроники, в том числе спинового транзистора и др.
Исследования кремниевых пластин, шаблонов, в том числе полученных электронной и ионной литографией
Исследования солнечных элементов
Исследования элементов питания
Исследования качества металлизации и гальванопокрытий
Анализ отказов электронных компонентов
Исследования механических и электрических свойств электронных компонентов
Исследования приборов одноэлектроники.
Химия
Морфологический и композиционный анализ химического сырья и активных ингредиентов во время процессов микронизации и грануляции
Изучение химических реакций in-situ
Динамические исследования материалов в естественном состоянии
Исследования катализаторов, полимеров и композитов, а также новых синтетических материалов
Исследования процессов гетерогенного кристаллообразования
Гидратация, химия и минералогия цемента
Получение распределений элементного состава объемных материалов с латеральным разрешением в несколько мкм.
