Рентгеновское излучение маломощной рентгеновской трубки, преобразованное фильтром первичного излучения, возбуждает флуоресцентное излучение атомов анализируемой пробы. Потоки (рассеянное на образце первичное рентгеновское излучение и вторичное флуоресцентное) излучения попадают на газовый пропорциональный счетчик, при этом флуоресцентное излучение атомов серы (SKa) при помощи селективных фильтров отделяется от излучения с другими энергиями. Интенсивность флуоресцентного излучения атомов серы, зарегистрированного газовым пропорциональным счетчиком, пропорциональна массовой доле серы в анализируемом образце.
