Термоэлектрические системы регулирования температуры LAUDA Semistat основаны на проверенных и известных принципах теплопередачи элементами Пельтье. Использование этих элементов позволяет быстро и точно регулировать температуру, что необходимо для реализации сложных процессов при производстве все более мелких компонентов.
Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».
| S 1200 | S 2400 | S 4400 | |
|---|---|---|---|
| Рабочая температура, мин. | -20 °C | -20 °C | -20 °C |
| Рабочая температура, макс. | 90 °C | 90 °C | 90 °C |
| Холодопроизводительность при 20 °C | 1.20 kW | 2.45 kW | 4.40 kW |
